SHIMADZU岛津分子泵

SHIMADZU岛津分子泵

岛津TPM主要用于为制造半导体器件、太阳能电池和平板显示器提供高真空环境。
岛津生产的TMP具有国际水准的气体吞吐量和抽气速度，可满足日益严格的半导体制造的工艺需求。例如，使制造商能够在大面积硅片上沉积和蚀刻半导体薄膜。

通过涡轮机的高速旋转产生真空环境，TMP的抽真空效果已达到分子流级。制造半导体和平板显示器需要清洁、无油的真空环境，以保持出色的设备操作状态。岛津提供的技术性能、可靠性和全球技术支持网络使岛津TMP成为这类应用领域中的组成部分。岛津生产多阵容TMP产品系列。各系列产品具有不同的用途。

除温度控制功能和特殊耐腐蚀涂层外，具备高气体吞吐量的TMP-2404/3304/4304系列的抽速范围为2100 L/s至4400 L/s，具有潜在的多种应用领域。
外形紧凑节能型TMP-X1605/V2304系列中的每一种型号的TMP均具备集成电源组件，其功耗比具有独立电源组件的型号低15 ％。
除集成电源外，TMP-X3405/X4304系列还具备温度控制功能和耐腐蚀涂层，能满足制造半导体和平板显示器（FPD）中对工艺流程的严格要求。
此外，TMP-203至1003系列的众多产品还具备出色的压缩比和极限压力水平，可实现高真空。

shimadzu岛津磁悬浮涡轮分子泵TMP-3003LM

日本岛津磁悬浮轴承涡轮分子泵采用五轴控制磁性轴承系统，无需使用油润滑，在运转过程当中，无任何摩擦，是真正做到无油、免维护、安装的涡轮分子泵。

提供Shimadzu TURBO Pump 日本岛津TMP全系列分子泵销售/维修/保养                                                

Shimadzu TURBO Pump 日本岛津分子泵维修、保养的部分型号:  

TMP-X系列 TMP-X2905LMTC、TMP-X3405LMTC

TMP-LMTC系列 TMP-3403LMTC、TMP-4203LMTC

TMP-MP/MPC系列 TMP-1103MP、TMP-1103MPC

TMP-LMP/LMPC系列 TMP-1103LMP、TMP-1103LMPC

TMP-B/SER系列 TMP50、TMP-B300、TMP280-SER

TMP-I/L-SER系列 TMP280-I-SER、TMP280-L-SER、TMP1500-L-SER

TMP-UE/LM-SER系列 TMP802-LM-SER、TMP-2001-UE-SER、TMP-3001-LM-SER

TMP-V系列

TMP-V1704LM、TMP-V2304LM、TMP-V2304LM (PB) 、TMP-V3304LM、TMP-V3304LM(F)

TMP-LMF/ LMB系列

TMP-1503LMF、TMP-2804LMB/LMF、TMP-3304LMB/LMF、TMP-3403LMB/LMF、TMP-4304LMB/ LMF、TMP-3804LMF/LMC

TMP-M/MC系列 TMP-203M/MC、TMP-203M-G1TMP-303M/MC、TMP-403M/MC、TMP-803M/MC、TMP-1003M/MC、TMP-1003MC-U2、TMP-1303M/MC、TMP-1503LMP/LMC、TMP-2003M/MC、TMP-2003MC-U2、TMP-2003MC-U1、TMP-2203M/MC、TMP-3203M/MC

TMP-LM/LMC系列

TMP-203LML/LMC、TMP-303LM/LMC、TMP-403LM/LMC、TMP-803LM/LMC、TMP-803LM-G1、TMP-1003LM/LMC、TMP-1303LM/LMC、TMP-1303LMC-G1、TMP-1503LM、TMP-2003LM/LMC、TMP-2003LM-3、TMP-2203LM/LMC、TMP-2804LM/LMC、TMP-3003LM/LMC、TMP-3203LM/LMC、TMP-3203LMC-A1、TMP-3303LM/LMC、TMP-3304LM/LMC、TMP-3403LM/LMC、TMP-3403LMC-K1、TMP-H3603LMC、TMP-H3603LMC-A1、TMP-H3606LM、TMP-3804LMC、TMP-4203LMC、TMP-4203LMC-T1、TMP-4304LM/LMC