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普发涡轮分子泵的主要结构说明

发布时间: 2023-12-25  点击次数: 195次
  普发涡轮分子泵是一种高真空泵,它采用涡轮叶轮的旋转来产生气体的吸入和排出。它在科学研究、半导体制造、工业生产等领域中得到广泛应用。其工作原理基于分子动量传递和离心力。当涡轮叶轮高速旋转时,气体分子受到离心力的作用,从进口处进入叶片间隙,并在叶片之间碰撞和扩散。由于叶片的形状和排列,气体分子在叶片间形成螺旋状流动,逐渐增加速度和动能。最终,气体分子被抽取到涡轮叶轮的出口处,并排入真空系统中。
  普发涡轮分子泵的主要结构说明:
  1、泵体:涡轮分子泵的泵体是一个密封的金属容器,内部是真空环境。泵体通常由不锈钢或其他耐腐蚀材料制成,以确保泵的可靠性和耐久性。
  2、涡轮叶轮:涡轮叶轮是涡轮分子泵的核心部件。它通常由多个叶片组成,叶片之间呈螺旋状排列。涡轮叶轮通过电机驱动高速旋转,产生离心力和气体动能,以实现气体的吸入和排出。
  3、静态叶片:静态叶片是涡轮分子泵中与涡轮叶轮配合工作的固定叶片。静态叶片的形状和排列与涡轮叶轮相匹配,用于引导气体流动和增加泵的效率。
  4、出口喷嘴:出口喷嘴位于涡轮叶轮的末端,用于将抽取的气体排出泵体。出口喷嘴通常具有特殊的形状和角度,以减小气体的漏失和反向流动。
  5、电机:涡轮分子泵的电机驱动涡轮叶轮的旋转。电机通常位于泵体外部,通过轴连接到涡轮叶轮。电机的转速决定了涡轮叶轮的旋转速度和泵的抽取能力。
  6、控制系统:涡轮分子泵通常配备有控制系统,用于监测和控制泵的运行状态。控制系统可以监测电机的转速、温度和振动等参数,并根据需要调整泵的工作状态。
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