磁悬浮轴承型复合分子泵 TG-M系列

简要描述：Osaka复合分子泵使用磁悬浮轴承实现无油的排气，而且维护周期长。提供排气速度300L/s～3400L/s的产品。磁悬浮轴承型复合分子泵 TG-M系列

产品型号： TG390M/TG2400M

所属分类：干式真空泵

更新时间：2023-11-09

厂商性质：经销商

详情介绍

磁悬浮轴承型复合分子泵 TG-M系列使用磁悬浮轴承实现无油的排气，而且维护周期长。提供排气速度300L/s～3400L/s的产品。

TG-M系列磁悬浮分子泵产品型号：TG390M、TG420M、TG900M、TG1300M、TG2400M。

特点：

任意方位安装
轻巧设计
节能
分子泵停止与启动时间短
附带维护警报机能
低振动
无需调整
自动校准
可控制转子旋转速度
大流量排气
多种通信模式
符合安全规格　NRTL/SEMI-S2/CE

应用：

半导体制造

电子枪排气，离子源排气

FPD制造

表面处理，表面改质

各种电子部件的制造

分析，试验装置

管球制造，光学部件制造

加速器，放射线设施，核聚变研究

热处理

研究开发

磁悬浮轴承型复合分子泵 TG-M系列技术规格：

型号		TG390M	TG420M	TG900M	TG1300M	TG2400M
法兰	吸气口ISO-R/CF	100	160	160	200	250
法兰	排气口	KF25	KF25	KF40	KF40	KF40
排气速度	N2（附加金属过滤网）	320L/s	370L/s	860L/s	1230L/s	2300L/s
排气速度	H2	290L/s	300L/s	1050L/s	1200L/s	1100L/s
大压缩比	N2	1×10⁸	1×10⁸	1×10⁸	1×10⁸	1×10⁸
大压缩比	H2	4.3×10³	4.5×10³	1.5×10⁴	1.5×10⁴	1.5×10³
极限压力	ISO-R/CF	＜1×10^-6Pa/＜1×10^-7Pa	＜1×10^-6Pa/＜1×10^-7Pa	＜1×10^-6Pa/＜1×10^-7Pa	＜1×10^-6Pa/＜1×10^-7Pa	＜1×10^-6Pa
可达气体流量	N2（sccm）	2000	2000	3000	3000	3000
推荐辅助泵		≥160L/min	≥160L/min	≥250L/min	≥250L/min	≥500L/min
容许辅助压力		400Pa	400Pa	500Pa	500Pa	200Pa
重量Kg	ISO-R/CF	14/17	14/17	34/42	34/42	45/54

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