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磁悬浮轴承型复合分子泵 TGkine-B系列

磁悬浮轴承型复合分子泵 TGkine-B系列

简要描述:・无油的超真空环境
・机械式的气体分子排气(动态排气),对所有的气体的排气速度大致相同
・可排稀有气体和腐蚀性气体
・可连续排大流量气体
・可工作的压力范围宽。(~10-10Pa)
磁悬浮轴承型复合分子泵 TGkine-B系列

产品型号: TGkine3300M

所属分类:涡轮分子泵

更新时间:2024-06-18

厂商性质:经销商

详情介绍

OSAKA磁悬浮轴承型复合分子泵 TGkine-B系列使用磁悬浮轴承实现无油的排气,而且维护周期长。提供排气速度300L/s~3400L/s的产品。


TG-M系列产品型号:

TGkine1700M/TGkine2200M、TGkine3300M、TGkine3800M/TGkine4200M、耐反应生成物 磁悬浮复合分子泵 TGkine-MI系列。


磁悬浮轴承型复合分子泵 TGkine-B系列产品特点:

■将电源控制器与分子泵一体化
■省电设计
■轻巧设计
■对应防护等级IP54
■多种通信接口
■对应国际规格
CE/NRTL/SEMI-S2


使用场合:

・半导体制造设备

・FPD制造设备

・太阳能电池制造设备

・玻璃/镜片等光学元件加工

・薄膜加工

・加速器/宇宙环境模拟设备


技术参数:

型号TGkine3300MTGkine3300M-40TGkine3400M
吸气口法兰VG300

ISO-B320

VG300

ISO-B320

VG350
排气口法兰KF40/KF50
排气速度N2(L/s)3300
N2(附带金属防护网) (L/s)3100
H2(L/s)2700
最大压缩比N2>1×108
H23×103
极限压力VG・ISO-B(Pa)<2×10-7
VG・ISO-B(Torr)<7.5×10-9
最大气体流量N2 (sccm)210040002100
启动时间(min)≦11
停止时间(min)≦13
允许辅助压力(Pa/Torr)170/1.28※1
推荐辅助泵(L/min)≧2000
输入电压(V)AC200-240V

-15%+10%

 相数单相
 频率(Hz)50/60
 电流(A)Max. 5.3
 所需电力(kVA)Max. 0.9
通信接口
(规格可选)
Parallel I/O, RS232C, RS485, Profibus, DeviceNet
防护等级IP54
安装角度任意
重量VG・ISO-B(kg)69
控制器型号控制器与分子泵一体型

性能曲线图:

OSAKAM性能曲线.jpg



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