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OSAKA大阪真空磁悬浮轴承型复合分子泵 TGkine-R系列
磁悬浮复合分子泵具备了磁悬浮复合分子泵(控制器・电源一体型)TGkine-B系列优秀的产品性能，本系列更搭载了将工作数据、轴承使用次数等记忆在泵本体中的存储功能，即使在维修期间更换控制器，也能够传输数据。
OSAKA大阪真空磁悬浮轴承型复合分子泵TGkine-R系列产品型号：
TGkine2200M-R、TGkine3300M-R / TGkine3400M-R、TGkine3800M-R / TGkine4200M-R
产品特点：
■ 省电设计
■ 在真空泵本体中，可存储设置参数，运转数据及异常历史等。
※即使在维护阶段更换控制器，也可实现全数据转移。
■ 支持多种通信接口规格 （兼容EtherCAT通信协定）
■ 适用于国际规格 CE/NRTL/SEMI-S2
使用场合：
■ 半导体制造设备
■ FPD制造设备
■ 太阳能电池制造设备
■ 玻璃/镜片等光学部件加工
■ 镀膜工艺
■ 加速器/宇宙环境模拟器
技术参数：
型号※1 | TGkine3300M-R | TGkine3400M-R | |
吸气口法兰 | VG300 / ISO-B320 | VG350 | |
排气口法兰※2 | KF40 / KF50 | ||
排気速度 | N2 (L/s) | 3300 | |
N(付带金属保护网) (L/s) | 3100 | ||
H2 (L/s) | 2700 | ||
最大压缩比 | N2 | >1×108 | |
H2 | 3×103 | ||
最大气体流量※3、※4 | N2 (sccm) | 2600 | |
Ar (sccm) | 1900 | ||
起动时间 | (min) | ≦11 | |
停止时间 | (min) | ≦13 | |
到达压力※5 | (Pa） | <2×10-7 | |
(Torr） | <1.5×10-9 | ||
最大排气口压力※6 | (Pa) | 110 | |
(Torr） | 0.82 | ||
推荐前级泵 | (L/min) | ≧2000 | |
安装方向 | 任意 | ||
质量 | (kg) | 64 / 65 | 67 |
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