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　　氦质谱检漏仪是一种基于质谱原理的检漏仪器，由真空系统、氦气充填系统、气体采样系统、加热系统和数据处理系统组成。检测时，将被测物体置于真空室内，使其内部达到所需真空度后，使用氦气充填系统向被测物体外部充填氦气，并通过气体采样系统将被测物体周围环境中的氦气吸入系统内部。在采集过程中，加热系统会对被测物体进行加热处理，以促进任何潜在泄漏点的放大和释放氦气。采集到的氦气进入真空室内的质谱仪中进行分析，通过检测氦气分子的质量/电荷比，来确定被测物体是否存在泄漏。

　　氦质谱检漏仪是一种高灵敏度、高精度的检漏工具，其优势主要包括以下几点：

　　1、高灵敏度：可以探测非常微小的气体泄漏，通常能够检测到每年少于0.01克/年的泄漏量。这种高灵敏度使得成为工业生产和科学研究中*工具。

　　2、高精度：可以测量极小的气体流量，并且具有极小的误差。这种高精度有利于确定泄漏的位置和大小，从而更快速地进行维修和保养。

　　3、多功能性：可以检测多种气体，如氢、氖、氦、氧、氮、二氧化碳等。这种多功能性使得可以应用于各种不同的行业和领域，如航空航天、半导体制造、石油化工、医疗器械等。

　　4、安全性：采用非侵入式检测方法，不需要对被检测物体进行破坏性操作或使用有害的探测介质。这种安全性使得成为一种非常安全和可靠的检测工具。

　　5、可追溯性：测试结果可以追溯到国际标准单位（SI），确保了测试数据的准确性和可比性。这种可追溯性对于需要精确量化的生产和科学研究尤为重要。

　　6、自动化：通常具有自动控制和数据记录功能，可以大大提高检测效率和数据分析能力，减少人为误差。

　　总之，氦质谱检漏仪具有高灵敏度、高精度、多功能性、安全性、可追溯性和自动化等优势，在各种行业和领域中得到广泛应用。