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氦质谱检漏仪其结构通常包括以下主要部分

发布时间: 2024-02-23  点击次数: 172次
  氦质谱检漏仪是一种基于质谱原理的检漏仪器,由真空系统、氦气充填系统、气体采样系统、加热系统和数据处理系统组成。检测时,将被测物体置于真空室内,使其内部达到所需真空度后,使用氦气充填系统向被测物体外部充填氦气,并通过气体采样系统将被测物体周围环境中的氦气吸入系统内部。在采集过程中,加热系统会对被测物体进行加热处理,以促进任何潜在泄漏点的放大和释放氦气。采集到的氦气进入真空室内的质谱仪中进行分析,通过检测氦气分子的质量/电荷比,来确定被测物体是否存在泄漏。
  氦质谱检漏仪其结构通常包括以下主要部分:
  1、真空室
  主体结构:真空室是检漏仪的主体部分,通常由不锈钢或铝合金制成,具有良好的密封性能。
  内部涂层:内部通常会进行特殊处理或涂层,以减少气体吸附,保持真空度。
  2、氦气充填系统
  氦气源:提供氦气供应的系统,通常包括氦气瓶、调压阀等设备。
  氦气输送管道:将氦气输送到待检测的系统或容器中。
  3、质谱检测系统
  质谱仪:主要用于检测氦气的存在和浓度,通常包括离子源、质量分析器、检测器等部分。
  控制系统:控制质谱仪的运行和数据采集,通常包括控制面板、计算机软件等。
  质谱仪接口:将待检测系统中的氦气引入质谱仪进行检测。
  4、抽气系统
  真空泵:用于将真空室中的气体抽出,维持系统的低压状态,通常包括机械泵、分子泵等。
  阀门:控制气体的进出,调节真空室内的压力。
  5、控制和显示系统
  控制面板:用于设定检测参数、控制仪器运行等。
  显示屏:显示检测结果、参数设置等信息。
  报警系统:当检测到泄漏时发出警报。
  6、样品室
  样品台:放置待检测的系统或容器,通常具有密封装置,防止氦气泄漏。
  连接口:与氦气充填系统和质谱检测系统连接的接口。
  7、其他部件
  氦气检测探头:探测系统中的氦气泄漏点。
  真空度监测装置:监测真空室内气体的压力和真空度。
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