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普发涡轮分子泵在使用方面是有很多要点的

发布时间: 2022-10-26  点击次数: 107次
  
  普发涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子,使气体产生定向流动而抽气的真空泵。优点是启动快,能抗各种射线的照射,耐大气冲击,无气体存储和解吸效应,无油蒸气污染或污染很少,能获得清洁的超高真空。广泛用于高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。
  涡轮分子泵的轴承由有油润滑的滚动轴承和滑动轴承向完q非接触式的空气轴承和磁轴承方向发展。转子的抽气单元有涡轮叶片、盘式叶片和牵引式螺旋槽结构。而且动、静叶片间的间隙很小,叶片很长刚性差。由于操作错误,突暴大气到泵中,使叶片损坏,因为受大气负载和离心力的作用开始弯曲振动,超过动、静叶片的间隙将会发生叶片相碰损坏事故。因而,高速旋转的转子系统遭到破坏时有发生,所以关于涡轮分子泵的安全使用问题,曾引起过涡轮分子泵的设计者和操作者的重视和研究,以使涡轮分子泵顺利推广应用与安全运行。
  普发涡轮分子泵的使用要点:
  1、不能在前级泵工作时(前级管路接通)和真空室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉,否则将会使油蒸气迅速从前级管路返流到泵的清洁端。
  2、分子泵系统在停机充干燥气体前,一定要先将分子泵冷却水关闭,且要从泵的高真空端充气。决不能从泵的前级管路进行充气。
  3、选择系统前级泵的大小时,应使涡轮分子泵的前级保持在分子流状态下。
  4、不能让涡轮分子泵在低于额定工作转速下运行。
  5、分子泵入口应装设防护网,以避免异物进入泵内损坏泵转子和定子叶片。
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