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磁悬浮分子泵CXF-200/1401

磁悬浮分子泵CXF-200/1401

简要描述:简称中科科仪,历经六十余年的发展,始终致力于电子光学和真空技术领域,公司业务领域覆盖扫描电子显微镜、氦质谱检漏仪等科学仪器设备和分子泵、真空应用设备等核心零部件及产业设备,产品广泛应用于航空航天、半导体、汽车工业、新能源、新材料、节能环保等前沿科学研究和装备制造领域。磁悬浮分子泵CXF-200/1401紧凑型结构,满足更小的物理空间需求、任意角度安装,适合各种设计需求、丰富扩展功能,满足客户定

产品型号:

所属分类:分子泵

更新时间:2024-10-28

厂商性质:经销商

详情介绍

CXF-200/1401

产品特点:

节能:无摩擦,避免摩擦热损耗、较其它类型产品能耗降低30%

高效:更长的连续工作时间、高气流量和高抽速

灵活:紧凑型结构,满足更小的物理空间需求、任意角度安装,适合各种设计需求、丰富扩展功能,满足客户定制化需求

应用领域:

科研、加速器、碳化硅、晶体晶振、光伏、Low-E玻璃镀膜、ITO镀膜、光学镀膜、装饰镀膜、平板显示、真空炉

电真空、新能源、新材料、真空干燥、低温制冷、薄膜沉积、刻蚀、离子注入、光刻、电子器件


技术参数:

进气口法兰:DN200 ISO F(标配)  DN200 CF(可选)   DN200 LF(可定制) 

排气口法兰:KF40

抽速速率(L/S):N2:1280   Ar:1100    He:880    H2:560

压缩比:N2:>1E8    Ar:>1E8    He:>1E4    H2:>1E3

极限压强(Pa):1E-7(橡胶密封)   1E-8(金属密封)  

最大瞬时入口流量(sccm):1100

保护气入口法兰(选配):KF10

推荐保护气体流量:20

最大允许磁场强度:  径向:3  轴向:15

额定转速(rpm):30000

启动时间(min):≤6

停机时间(min):≤8

冷却方式:水冷

冷却水流量(L/min):2

推荐冷却水温度(℃):20±5

电源电压(V AC): 220±10%,50Hz          110±10%,60Hz

适配电源型号:CXFD-1001

建议前级泵: ≥16

重量(kg):51

产品尺寸图:

磁悬浮分子泵CXF-200/1401


磁悬浮分子泵CXF-200/1401

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