详情介绍
CXF-200/1401
产品特点:
节能:无摩擦,避免摩擦热损耗、较其它类型产品能耗降低30%
高效:更长的连续工作时间、高气流量和高抽速
灵活:紧凑型结构,满足更小的物理空间需求、任意角度安装,适合各种设计需求、丰富扩展功能,满足客户定制化需求
应用领域:
科研、加速器、碳化硅、晶体晶振、光伏、Low-E玻璃镀膜、ITO镀膜、光学镀膜、装饰镀膜、平板显示、真空炉
电真空、新能源、新材料、真空干燥、低温制冷、薄膜沉积、刻蚀、离子注入、光刻、电子器件
技术参数:
进气口法兰:DN200 ISO F(标配) DN200 CF(可选) DN200 LF(可定制)
排气口法兰:KF40
抽速速率(L/S):N2:1280 Ar:1100 He:880 H2:560
压缩比:N2:>1E8 Ar:>1E8 He:>1E4 H2:>1E3
极限压强(Pa):1E-7(橡胶密封) 1E-8(金属密封)
最大瞬时入口流量(sccm):1100
保护气入口法兰(选配):KF10
推荐保护气体流量:20
最大允许磁场强度: 径向:3 轴向:15
额定转速(rpm):30000
启动时间(min):≤6
停机时间(min):≤8
冷却方式:水冷
冷却水流量(L/min):2
推荐冷却水温度(℃):20±5
电源电压(V AC): 220±10%,50Hz 110±10%,60Hz
适配电源型号:CXFD-1001
建议前级泵: ≥16
重量(kg):51
产品尺寸图:
留言询价
- 上一篇:ADH系列普发真空 多级罗茨干泵
- 下一篇:CRYO系列ULVAC爱发科标准型低温泵