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在操作普发涡轮分子泵时,需要格外注意以下几个关键事项

发布时间: 2024-06-23  点击次数: 56次
  普发涡轮分子泵是一种高真空泵,它采用涡轮叶轮的旋转来产生气体的吸入和排出。它在科学研究、半导体制造、工业生产等领域中得到广泛应用。其工作原理基于分子动量传递和离心力。当涡轮叶轮高速旋转时,气体分子受到离心力的作用,从进口处进入叶片间隙,并在叶片之间碰撞和扩散。由于叶片的形状和排列,气体分子在叶片间形成螺旋状流动,逐渐增加速度和动能。最终,气体分子被抽取到涡轮叶轮的出口处,并排入真空系统中。
  在操作普发涡轮分子泵时,需要格外注意以下几个关键事项:
  1、前级真空压力
  对于带有额外压缩级的涡轮分子泵,其前真空压力可以上升至30 hPa以上。而带有纯涡轮级的泵,最大前真空压力为2-3 hPa,超过此值可能导致泵过热甚至损坏。
  2、标注排气管道尺寸
  安装排气管道和阀门时,应至少按照泵的标称尺寸进行,以避免流导值不良导致的抽速显著下降。例如,直径和长度不符合要求的进气管会导致电导值损失,严重影响有效抽速。
  3、高真空和前真空连接
  如果涡轮分子泵的高真空法兰连接至接受器,前级管道必须保持灵活,否则固定连接会导致泵壳受热后无法膨胀,产生不当的材料应力,影响转子自由移动并可能导致轴承故障。
  4、安全连接高真空法兰/真空室
  涡轮分子泵在额定转速下具有较高的扭矩,尤其是在大型泵中,必须安全连接高真空法兰和真空室,避免因布局不当导致真空室变形或泵扭曲。
  5、碎片保护
  应在涡轮分子泵的高真空法兰上插入防护罩,以防止坠落碎片损坏转子。这一点对于确保泵的长期稳定运行至关重要。
  6、烘烤泵
  烘烤泵时,必须遵守生产商规定的最大高真空法兰温度为120°C的要求,过高温度会导致泵过热,损害轴承或转子。
  7、为涡轮分子泵排气
  正确排气是避免碳氢化合物返流和维护系统纯净的关键步骤。应使用干燥气体如氮气或无油空气进行充气,并在适当的速度下排气。
  8、磁场与辐射
  强磁场会对涡轮分子泵产生不良影响,导致转子过热。同时,粒子加速器附近的辐射也会损坏电子驱动器和测量设备,因此需要采取防护措施。
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