热门搜索:真空泵、真空阀、氦质谱检漏仪、非标氦检设备、质谱仪、真空备件、真空维修
技术文章 / article 您的位置:网站首页 > 技术文章 > 关于普发涡轮分子泵的技术特点,你了解多少呢?

关于普发涡轮分子泵的技术特点,你了解多少呢?

发布时间: 2024-06-21  点击次数: 68次
  普发涡轮分子泵是一种高真空泵,它采用涡轮叶轮的旋转来产生气体的吸入和排出。它在科学研究、半导体制造、工业生产等领域中得到广泛应用。其工作原理基于分子动量传递和离心力。当涡轮叶轮高速旋转时,气体分子受到离心力的作用,从进口处进入叶片间隙,并在叶片之间碰撞和扩散。由于叶片的形状和排列,气体分子在叶片间形成螺旋状流动,逐渐增加速度和动能。最终,气体分子被抽取到涡轮叶轮的出口处,并排入真空系统中。
  普发涡轮分子泵的技术特点:
  1、多种优点
  清洁无油蒸汽返流:涡轮分子泵在操作过程中,可以为被抽容器提供极为清洁的真空环境,且不含有碳氢化合物的污染。
  使用方便:许多应用中,涡轮分子泵可以不用高真空或粗真空阀,只需简单按电钮即可开始工作。
  气体输送能力强:特别对轻气体如氢、氦有强大的输送能力,适用于富氢的工艺过程。
  适于超高真空应用:一台密封和除气良好的涡轮分子泵,配备性能良好的干式前级泵,其极限真空可达到10^-10 Torr。
  高压力下性能良好:有些涡轮分子泵的入口压力可在10^-3^至10^-1^Torr之间运行。
  循环时间短:多数涡轮分子泵,尤其是小一些的,从关闭状态到正常运行速度的时间一般只需几分钟。
  2、工作原理
  涡轮分子泵通过动叶轮和静叶轮交替排列,利用倾斜叶片的运动,使气体分子从左侧穿过叶片到达右侧的几率大于反向,从而产生抽气作用。
  2、高性能特点
  压缩比:涡轮分子泵的压缩比与泵的级数、转速以及气体种类有关。例如,对氮(或空气)的压缩比可达10^8^至10^9^,对氢为10^2^至10^4^,对重气体如油蒸气则大于10^10^。
  工作压力范围广:泵的极限压力为10^-9^帕,工作压力范围为10^-1^至10^-8^帕。
  抽速大:涡轮分子泵的抽速范围为几十到几千升每秒。
  4、先进技术应用
  磁悬浮技术:现代涡轮分子泵多采用磁悬浮轴承,这种轴承不用润滑油,可实现完q无油化,轴承寿命长,振动与噪音低,且泵可以任意角度安装。
  高转速:涡轮分子泵由转速为10,000至60,000转/分的中频电动机直联驱动。
  • 联系电话电话
  • 传真传真
  • 邮箱邮箱yingchi1688@163.com
  • 地址公司地址上海市闵行区浦江镇联航路坤大科技楼811室
© 2024 版权所有:上海盈炽商贸有限公司   备案号:沪ICP备2022009340号-1   sitemap.xml   管理登陆   技术支持:化工仪器网       
  • 公众号二维码