磁悬浮轴承型复合分子泵TG-M系列

磁悬浮轴承型复合分子泵TG-M系列

涡轮分子泵由多层转子叶片和定子叶片组成。 下图所示的是叶片的角度以及旋转方向的关系 气体分子从高真空侧进入泵内，附着于转子叶片后将按照麦克斯韦分布朝不同方向脱离。 然而，由于叶片的倾斜角度和旋转，分子飞入下一层，并且容易穿过定子叶片再向下。 同时，从下层飞入并通过固定叶片后逆行的气体分子，也能通过与转子叶片碰撞再次飞到下一层。 叶片的角度是，上层的气体分子容易通过(排气方向的流向和逆流的差较大)的角度，而下层的气体分子不容易逆行的(排气方向的流向和逆流的比较大)角度。 在分子流域，涡轮分子泵是通过该转子叶片和定子叶片发挥基本性能

主要特点

・无油的超真空环境

・机械式的气体分子排气(动态排气),对所有的气体的排气速度大致相同

・可排稀有气体和腐蚀性气体

・可连续排大流量气体

・可工作的压力范围宽。 (～10-10Pa）.

OSAKA磁悬浮轴承型复合分子泵TG-M系列

使用磁悬浮轴承实现无油的排气，而且维护周期长。提供排气速度300L/s～3400L/s的产品。

TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M

新型磁悬浮轴承型涡轮分子泵TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M 的特长

• 省电力设计

• 工作数据，轴承接触次数，机种情报等都可存储于分子泵本体                                                                                                                                     ※进行保养时即使更换控制器，数据也可进行转移

• 多种通信规格(可对应EtherCAT)

• 国际规格

• 符合CE，SEMI-S2，NRTL规格

  应用场合：

  
  

• 半导体制造设备

• FPD制造设备

• 太阳能电池制造设备

• 玻璃/镜片等光学部件加工

• 薄膜加工

• 加速器/宇宙环境实验设备

  技术参数：

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