复合分子泵 TG-F系列

简要描述：日本大阪真空Osaka涡轮分子泵使用了脂润滑陶瓷轴承，实现了小型、轻量、低成本。耐外部震动，耐冲击能力强，可以把分子泵搭载到可搬式设备或设备的可动部，拓展了涡轮分子泵的新应用。提供排气速度50L/s ～ 2400L/s的产品。复合分子泵 TG-F系列

产品型号： TG-50F/TG-2400F

所属分类：涡轮分子泵

更新时间：2023-11-09

厂商性质：经销商

联系我们留言询价

详情介绍

Osaka涡轮分子泵

任意方位安装复合分子泵 TG-F系列

使用了脂润滑陶瓷轴承，实现了小型、轻量、低成本。耐外部震动，耐冲击能力强，可以把分子泵搭载到可搬式设备或设备的可动部，拓展了涡轮分子泵的新应用。提供排气速度50L/s ～ 2400L/s的产品。

复合分子泵 TG-F系列产品特点：

无油的超高真空环境

机械式的气体分子排气(动态排气),对所有的气体的排气速度大致相同

可排稀有气体和腐蚀性气体

可连续排大流量气体

可工作的压力范围宽。（～10-10Pa）

应用场合：

半导体制造

电子枪排气，离子源排气

FPD制造

表面处理，表面改质

各种电子部件的制造

分析，试验装置

管球制造，光学部件制造

加速器，放射线设施，核聚变研究

热处理

研究开发

技术参数：

技术规格：

型号

TG50F

TG60F

TG70F

TG220F

TG240F

TG350F

TG450F

TG800F

TG1100F

TG1400F

TG2400F

法兰

吸气口ISO-R/CF

KF40/63

100

160

200

250

排气口

KF16

KF25

KF40

排气速度

N2（附加金属过滤网）

49L/s

55L/s

65L/s

210L/s

240L/s

310L/s

430L/s

750L/s

1000L/s

1300L/s

2300L/s

12L/s

22L/s

40L/s

100L/s

160L/s

210L/s

240L/s

650L/s

720L/s

750L/s

1100L/s

压缩比

1.4×107

2×107

1×108

5×102

2×103

1×105

4×102

4×104

2×103

1×104

4.3×103

1.4×103

极限压力

ISO-R/CF

＜3×10-6Pa

＜5×10-6Pa/＜1×10-6Pa

＜5×10-7Pa/＜1×10-7Pa

＜1×10-6Pa

＜1×10-6Pa/＜5×10-7Pa

＜1×10-6Pa

可达气体流量

N2（sccm）

400

500

330/860

450

900/1500

推荐辅助泵

≥50L/min

≥25L/min

≥80L/min

≥250L/min

≥500L/min

容许辅助压力

1330Pa

800Pa

1200Pa

260Pa

700Pa

260Pa

330Pa

200Pa

重量Kg

ISO-R/CF

4.2/6

3.4/5.4

3/5

5.5/8

7.3/10.5

6/9

7/10

27/26

28/27

29/30

45/47

留言询价

上一篇：OGEVAC B/BI/FP系列单级旋片泵/油封真空泵

下一篇：TGkine3300M磁悬浮轴承型复合分子泵 TGkine-B系列

复合分子泵 TG-F系列

留言框

产品：

您的单位：

您的姓名：

联系电话：

常用邮箱：

省份：

详细地址：

补充说明：

验证码：